AQ級預(yù)過濾器
用于去除1μm以上的粒子，并可凝聚液熊油和水，在21℃條件下，油霧含量不超過0.5mg/m3

AA級高效過濾器
用于去除包括油、水在內(nèi)的0.01μm以上的粒子，在21℃條件下，油霧含量不超過0.01mg/m3（需前置A0級預(yù)過濾器）

AX級高效過濾器
用于去除包括油、水在內(nèi)的大于0.01μm的粒子，含油量不超過0.001mg/m3（需前置A0級預(yù)過濾器）

AC/ACS級活性碳過濾器
用于去除油蒸氣和碳?xì)浠衔锂愇叮?1℃條件下，含油量不大于0.003mg/m3（不包括甲烷）（AC級過濾器由AA和AC組成而成，ACS級應(yīng)前置AA級過濾器）

AR級通用除塵過濾器
用于去除1μm以上的灰塵顆粒粒子

AAR級高級除塵過濾器
用于去除0.01μm以上的灰塵顆粒