激光干涉儀檢測機(jī)床各項(xiàng)誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。
 

中圖儀器sj6000激光干涉儀采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/span>

在數(shù)控機(jī)床精度測量方面，豐富的模塊化組件可根據(jù)具體測量需求而選擇，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。廣泛應(yīng)用于精密檢測儀器、機(jī)床、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺、三坐標(biāo)、機(jī)器人、精密機(jī)械設(shè)備等領(lǐng)域的線性測量。

測量機(jī)床直線度

測量機(jī)床偏擺角度

自動(dòng)化設(shè)備精度測量

中圖儀器sj6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。通過與不同的光學(xué)鏡組結(jié)合，還實(shí)現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。

注意事項(xiàng)

對角線測量套裝配置需求：對角線測量套裝＋可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量