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產(chǎn)品功能
1）CEM3000超高分辨率掃描電子顯微鏡緊湊的外型，能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時(shí)CEM3000也能根據(jù)用戶需求，輕松移機(jī)，一臺機(jī)器多處開花；
2）高分辨率，能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；
3）快速抽放氣，憑借真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時(shí)間；
4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，無需過多人工操作，就可得到高質(zhì)量拍攝圖片；
5）大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時(shí)，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有####的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術(shù)，基于復(fù)合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；
7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度，進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測；
8）能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇，滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求；
9）CEM3000超高分辨率掃描電子顯微鏡搭配有多種探頭，能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析。
應(yīng)用場景
材料科學(xué)：納米材料（如60nm銀線）、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結(jié)構(gòu)分析。
新能源：太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫(yī)療：微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業(yè)質(zhì)檢：錫球顆粒焊接質(zhì)量、精密器件表面粗糙度檢測。
應(yīng)用案例
金屬材料分析
花粉微觀形態(tài)
機(jī)型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動(dòng)環(huán)境設(shè)計(jì)，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩(wěn)定。
部分技術(shù)指標(biāo)
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型號 |
CEM3000A（大樣品倉型） |
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電子槍 |
燈絲 |
鎢燈絲 |
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分辨率 |
優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV |
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加速電壓 |
1 ~ 20kV |
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放大倍數(shù) |
電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） |
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探測器 |
二次電子 |
標(biāo)配 |
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背散射電子 |
標(biāo)配（四象限高分辨探頭） |
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能譜儀 |
選配 |
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自動(dòng)化軟件 |
標(biāo)配：自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) |
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選配：顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 |
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真空系統(tǒng) |
真空度 |
高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
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抽真空時(shí)間 |
低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min |
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樣品臺 |
自動(dòng)軸 |
X，Y，T |
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手動(dòng)軸 |
R，Z |
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行程范圍 |
X: 50mm |
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Y: 50mm |
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R: 0°~360°（手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)） |
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T: -22.5°~ +22.5° |
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Z: 45mm |
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樣品尺寸 |
70mm×70mm（水平） 45mm（高度） |
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倉內(nèi)相機(jī) |
導(dǎo)航相機(jī) |
標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
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側(cè)視相機(jī) |
標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) |
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操作系統(tǒng) 圖片尺寸 |
Windows10 (64bit) |
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640×480 |
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1280×960 |
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2560×1920 |
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5120×3840 |
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10240×7680 |
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