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如在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，SJ5100量具量規(guī)檢定測(cè)長機(jī)可以用來測(cè)量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。整個(gè)測(cè)量過程不超過3分鐘，結(jié)束后自動(dòng)生成結(jié)果及記錄報(bào)表。
儀器主要功能
1、標(biāo)配功能：
檢測(cè)量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；
光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；
螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）
螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；
光滑卡規(guī)：內(nèi)卡5~200mm，外卡1~300mm
千分尺校對(duì)桿：25~300mm；
塞尺：0.02~1mm
針規(guī)：φ0.1~φ10mm
三針：0.118~6.585mm；
兩點(diǎn)內(nèi)徑千分尺：25~300mm；
2、可選配功能：
小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；
螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；
光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；
光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長度10~100mm）；φ60~φ200mm（長度≤50mm）；
螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；
螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長度10~100mm）；M60~M200mm（長度≤50mm）；
鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；
花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標(biāo)準(zhǔn)齒輪（跨棒距測(cè)量）：內(nèi)φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數(shù)0.8~6mm；
外徑千分尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：25~300mm；
數(shù)顯及游標(biāo)卡尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：75~300mm；
深度千分尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：0~25、25~50、50~75mm；
三爪內(nèi)徑千分尺手動(dòng)校準(zhǔn)：φ6~φ200mm；
表類（百分表、千分表、杠桿表手動(dòng)校準(zhǔn)）；
數(shù)顯半徑規(guī)手動(dòng)校準(zhǔn)：R5~R700mm；
SJ5100量具量規(guī)檢定測(cè)長機(jī)軸承內(nèi)外圈錐度、溝槽底徑內(nèi)外徑及溝槽寬度、精密零部件的長度尺寸，內(nèi)外徑尺寸測(cè)量；
產(chǎn)品應(yīng)用案例
機(jī)械制造：在機(jī)械制造過程中，可以用來測(cè)量各種零件的尺寸和形狀，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。
半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來測(cè)量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。
光學(xué)加工：在光學(xué)加工領(lǐng)域中，可以用來測(cè)量光學(xué)元件的表面形貌和厚度等參數(shù)。
##航天：在##航天領(lǐng)域中，可以用來測(cè)量##器的外形和尺寸，以及檢測(cè)零部件之間的配合精度。
主要技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | SJ5100-Prec300（精密測(cè)量型） | |
| 測(cè)量范圍 | 外尺寸 | 直接測(cè)量：0~340mm |
| 內(nèi)尺寸 | 比較測(cè)量：5~200mm（配置比較測(cè)量環(huán)規(guī)） | |
| 外尺寸示值誤差 | ≤±（0.2+L/1000）μm，其中：L為被測(cè)長度，單位：mm | |
| 內(nèi)尺寸重復(fù)性(2S或2δ) | ≤0.1μm | |
| 內(nèi)尺寸重復(fù)性(2S或2δ) | ≤0.2μm（使用測(cè)鉤）≤0.3μm（使用內(nèi)測(cè)裝置） | |
| 測(cè)力 | 內(nèi)測(cè)裝置傳感器測(cè)力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N、主測(cè)力1~10N手動(dòng)連續(xù)可調(diào) | |
| 測(cè)量直徑 | 環(huán)規(guī)200mm（標(biāo)配） 、塞規(guī)250mm（標(biāo)配） | |
| 儀器尺寸 | 1400*400*450mm | |
| 儀器重量 | 150kg | |
|
五軸工作臺(tái) |
型號(hào) | ST-30.1(標(biāo)配) |
| Z軸 | 0~50mm | |
| Y軸 | ±25mm | |
| X軸浮動(dòng) | ±10mm | |
| Z軸旋轉(zhuǎn) | ±3° | |
| Y軸擺動(dòng) | ±3° | |
| 負(fù)載 | 50kg | |
| 臺(tái)面尺寸 | 350*25mm |
環(huán)境條件
參考校準(zhǔn)/使用環(huán)境溫濕度：
溫度：20±2℃，波動(dòng)不超過0.5℃/小時(shí)
相對(duì)濕度：10~70%。
振動(dòng)：按照三坐標(biāo)振動(dòng)要求標(biāo)準(zhǔn)，振動(dòng)速度均方根≤5um/s，振動(dòng)頻率8~100Hz；
校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響測(cè)量的灰塵、震動(dòng)、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場(chǎng)。
懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。
如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。