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產(chǎn)品詳情
iH80 干式泵 460V，60 Hz，3 相，PN：A59000908
iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59000945
iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59000946
iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59000957
Edwards ##半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照*高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)*大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
Edwards iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和優(yōu)勢(shì)
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)*大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
峰值速度: 103 m3h-1
61 cfm
1717 l min-1
極限真空: 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
典型軸封氮流量: 4 slm
進(jìn)氣口連接: ISO63
出口連接: NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量: 120 l h-1
2 l min-1
重量: 240 kg
極限功率輸入: 2.7 kW
電機(jī)額定功率: 3.5 kW
油容量: 0.7 l
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