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IV、CV一鍵測；一體機(jī)，支持遠(yuǎn)程指令控制；支持三同軸接探針臺(tái)

能夠覆蓋從材料、晶圓、器件到模塊的測試；詳詢

概述：

SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是武漢普賽斯自主研發(fā)、精益打造的一款半導(dǎo)體電學(xué)特性測試系統(tǒng)，具有高精度、寬測量范圍、快速靈活、兼容性強(qiáng)等優(yōu)勢。產(chǎn)品可以同時(shí)支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測試，旨在幫助加快前沿材料研究、半導(dǎo)體芯片器件設(shè)計(jì)以及先進(jìn)工藝的開發(fā)，具有桌越的測量效率與可靠性。

基于模塊化的體系結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀可以幫助用戶根據(jù)測試需要，靈活選配測量單元進(jìn)行升級(jí)。產(chǎn)品支持Z高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測量，同時(shí)檢測10kHz至1MHz范圍內(nèi)的多頻AC電容測量。SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀搭載普賽斯自主開發(fā)的專用半導(dǎo)體參數(shù)測試軟件,支持交互式手動(dòng)操作或結(jié)合探針臺(tái)的自動(dòng)操作,能夠從測量設(shè)置、執(zhí)行、結(jié)果分析到數(shù)據(jù)管理的整個(gè)過程，實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用，滿足高低溫測試需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

30μV-1200V,1pA-100A寬量程測試能力；

測量精度高,全量程下可達(dá)0.03%精度；

內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)器件測試程序，直接調(diào)用測試簡便；

自動(dòng)實(shí)時(shí)參數(shù)提取，數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù)；

在CV和IV測量之間快速切換而無需重新布線；

提供靈活的夾具定制方案，兼容性強(qiáng)；

免費(fèi)提供上位機(jī)軟件及SCPI指令集；

典型應(yīng)用：

納米、柔性等材料特性分析；

二極管；

MOSFET、BJT、晶體管、IGBT；

第三代半導(dǎo)體材料/器件；

有機(jī)OFET器件；

LED、OLED、光電器件；

半導(dǎo)體電阻式等傳感器；

EEL、VCSEL、PD、APD等激光二極管；

電阻率系數(shù)和霍爾效應(yīng)測量；

太陽能電池；

非易失性存儲(chǔ)設(shè)備；

失效分析；